通过快速抽真空加速溶剂挥发,实现涂层的高效结晶与辅助成膜;设备采用上抽式设计与多层可调均流板,确保腔体内流场均匀稳定;集成顶升机构并兼容MES系统,专为连续在线生产打造。
腔体尺寸:240×240×80mm ~ 450×450×120mm 真空速率:标配 10s 可达 10Pa;可选 2s 可达 150Pa、3s 可达 150Pa、5s 可达 10Pa 等 产能节拍:约 1ppm(需配合高速上下料系统实现)